Глобальні екологічні норми напівпровідникової промисловості постійно посилюються в 2026 році, і обмеження на речовини класу PFAS поступово охоплюють витратні матеріали, що використовуються у виробництві пластин, включаючи полірувальні накладки CMP. Традиційні високоякісні прокладки CMP частково використовують компоненти, модифіковані фтором, для підвищення стійкості до хімічних суспензій і ефективності змочування поверхні. Зіткнувшись із нормативною тенденцією, розробникам спеціалізованих накладок CMP GaN доводиться переробляти поліуретанові формули без шкоди для ефективності полірування твердих підкладок GaN.
Процеси GaN CMP часто використовують полірувальну суспензію зі складним pH середовища та нанорозмірними абразивними частинками. Без добавок, модифікованих фтором, поліуретанові матеріали накладок піддаються підвищеному ризику хімічної ерозії, блокування пор і старіння поверхні під час експлуатації. Розробникам матеріалів необхідно відкоригувати співвідношення поліол-ізоціанат, оптимізувати щільність поперечних зв’язків і покращити здатність проти гідролізу та запобігання набуханню самої поліуретанової матриці, щоб замінити частину функцій, спочатку реалізованих фторвмісними інгредієнтами.
Відгуки промисловості вказують на те, що багато постачальників прокладок все ще перебувають на етапі тестування зразків продуктів GaN CMP, які не містять PFAS. Поточні основні проблеми полягають у збалансуванні трьох ключових показників: швидкості знімання матеріалу, здатності контролювати дефекти та терміну служби. Деякі прокладки, які не містять фтору, демонструють гідну якість поверхні під час короткочасних лабораторних тестів, але швидкість зношування очевидно прискорюється в умовах безперервної роботи заводу, підвищуючи загальну вартість витратних матеріалів на пластину.
На основі нашої науково-дослідної платформи поліуретану ми розробили модифіковані сорти поліуретанових матеріалів, орієнтовані на виробництво прокладок GaN CMP без PFAS. Завдяки регулюванню полімерної основної структури ми підвищуємо хімічну стабільність без добавок фтору. Нижчі партнери можуть узгодити процес пороутворення відповідно до власного дизайну колодки. Ми продовжуватимемо співпрацювати з розробниками витратних матеріалів, щоб завершити спільну перевірку та просувати промислове застосування екологічно чистих поліуретанових рішень для планарізації пластин GaN наступного покоління.